离子束微纳加工仪MINIP-3G

‌离子束加工是在真空条件下，先由电子枪产生电子束，再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中，使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤，获得具有一定速度的离子投射到材料表面，产生溅射效应和注入效应。由于离子带正电荷，其质量比电子大数千、数万倍，所以离子束比电子束具有更大的撞击动能，是靠微观的机械撞击能量来加工的。于离子束轰击材料是逐层去除原子，所以可以达到纳米级的加工精度。

离子束微纳加工是当前应用于透射电镜(TEM)、扫描电镜(SEM)样品制备和半导体、新能源材料分析的先进技术。

功能应用多样化：表面清洁;表层材料去除;局部刻蚀;截面切割和抛光;微纳加工功能;

功能可视窗口：触屏操控

◆可同时提供三束高能离子流进行高效率的微纳加工

◆枪1、枪2和枪3位于同一水平面

◆枪1和枪2夹角90°，枪3与枪1、枪2间的夹角均为135°

◆提供旋转、倾转和平移三轴样品台运动机构;满足不同微纳加工运动需求

◆CCD穿孔检测机构，提供高清CCD视图监控加工过程，

◆CCD摄像头自带LED灯;

◆激活CCD穿孔检测时，摄像头打开并推出到样品正上方。

功能模式

技术参数